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一种VCSEL芯片制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110190514A, 申请日期: 2019-08-30, 公开日期: 2019-08-30
发明人:  田宇;  韩效亚;  吴真龙;  杜石磊
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一种具有高功率的VCSEL芯片及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110165552A, 申请日期: 2019-08-23, 公开日期: 2019-08-23
发明人:  田宇;  韩效亚;  吴真龙;  杜石磊
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一种垂直腔面发射激光器及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110148884A, 申请日期: 2019-08-20, 公开日期: 2019-08-20
发明人:  杜石磊;  田宇;  韩效亚;  吴真龙
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垂直腔面发射激光器外延结构及其制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109728502A, 申请日期: 2019-05-07, 公开日期: 2019-05-07
发明人:  田宇;  韩效亚;  吴真龙;  杜石磊
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一种VCSEL芯片及其制作方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109616871A, 申请日期: 2019-04-12, 公开日期: 2019-04-12
发明人:  田宇;  韩效亚;  吴真龙;  杜石磊
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一种激光外延结构及制作方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109546530A, 申请日期: 2019-03-29, 公开日期: 2019-03-29
发明人:  田宇;  韩效亚;  吴真龙;  杜石磊
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