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热原子层沉积钛掺杂氧化镓薄膜的光学性能 期刊论文
光子学报, 2023, 卷号: 52, 期号: 6
作者:  李存钰;  朱香平;  赵卫;  李继超;  胡景鹏
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氧化镓薄膜  Ti掺杂Ga2O3薄膜  热原子层沉积  折射率  光学带隙  
Transfer process of LT-GaAs epitaxial films for on-chip terahertz antenna integrated device 期刊论文
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2017, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 220-+
作者:  Guo Chun-Yan;  Xu Jian-Xing;  Peng Hong-Ling;  Ni Hai-Qiao;  Wang Tao;  Tian Jin-Shou;  Niu Zhi-Chuan;  Wu Zhao-Xin;  Zuo Jian;  Zhang Cun-Lin;  Niu, ZC (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Superlatt, Beijing 100083, Peoples R China.
Adobe PDF(3389Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：298/4  |  提交时间：2017/06/06
On-chip Thz Antenna Integrated Device  Lt-gaas  Epitaxial Layer Transfer  Wet Chemical Etching