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热原子层沉积钛掺杂氧化镓薄膜的光学性能 期刊论文
光子学报, 2023, 卷号: 52, 期号: 6
作者:  李存钰;  朱香平;  赵卫;  李继超;  胡景鹏
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氧化镓薄膜  Ti掺杂Ga2O3薄膜  热原子层沉积  折射率  光学带隙  
原子层沉积制备氧化镓薄膜及其光学性能研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2023
作者:  李存钰
Adobe PDF(9189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2023/07/27
Ga2O3 薄膜  原子层沉积  Ti 掺杂Ga2O3 薄膜  折射率  光学带隙  
Semiconductor devices 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: GB1360073A, 申请日期: 1974-07-17, 公开日期: 1974-07-17
发明人:  -
Adobe PDF(455Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2019/12/24