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热原子层沉积钛掺杂氧化镓薄膜的光学性能 期刊论文
光子学报, 2023, 卷号: 52, 期号: 6
作者:  李存钰;  朱香平;  赵卫;  李继超;  胡景鹏
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氧化镓薄膜  Ti掺杂Ga2O3薄膜  热原子层沉积  折射率  光学带隙  
基于纳米功能膜层设计与性能调控的高性能微通道板研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2023
作者:  朱香平
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电子倍增器  微通道板  原子层沉积  导电层  二次电子产额  
原子层沉积制备氧化镓薄膜及其光学性能研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2023
作者:  李存钰
Adobe PDF(9189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:37/0  |  提交时间:2023/07/27
Ga2O3 薄膜  原子层沉积  Ti 掺杂Ga2O3 薄膜  折射率  光学带隙