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热原子层沉积钛掺杂氧化镓薄膜的光学性能 期刊论文
光子学报, 2023, 卷号: 52, 期号: 6
作者:  李存钰;  朱香平;  赵卫;  李继超;  胡景鹏
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氧化镓薄膜  Ti掺杂Ga2O3薄膜  热原子层沉积  折射率  光学带隙  
原子层沉积TiO2:Al2O3薄膜电阻率调控机制研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2023
作者:  李继超
Adobe PDF(4221Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2023/07/19
原子层沉积  微通道板  导电层  二氧化钛  氧化铝