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提高半导体激光正弦相位调制干涉仪振动测量精度的方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN102169012B, 申请日期: 2014-04-09, 公开日期: 2014-04-09
发明人:  李中梁;  王向朝;  王渤帆
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半导体激光正弦相位调制干涉仪调制深度的测量方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN102288387B, 申请日期: 2013-11-20, 公开日期: 2013-11-20
发明人:  王渤帆;  李中梁;  王向朝
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复合电流调制半导体激光干涉仪 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN102636109A, 申请日期: 2012-08-15, 公开日期: 2012-08-15
发明人:  王渤帆;  李中梁;  王向朝;  崔丽君
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用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN102168944A, 申请日期: 2011-08-31, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  王渤帆;  李中梁;  王向朝;  步扬
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实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN100547344C, 申请日期: 2009-10-07, 公开日期: 2009-10-07
发明人:  何国田;  王向朝
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半导体激光单光源激振测振装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN201104240Y, 申请日期: 2008-08-20, 公开日期: 2008-08-20
发明人:  李中梁;  王向朝;  刘英明
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硅微机械自谐振传感装置 专利
专利类型: 授权发明, 授权发明, 专利号: CN100383655C, CN100383655C, 申请日期: 2008-04-23, 2008-04-23, 公开日期: 2008-04-23, 2008-04-23
发明人:  刘英明;  王向朝
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微位移高精度实时干涉测量装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN201016705Y, 申请日期: 2008-02-06, 公开日期: 2008-02-06
发明人:  何国田;  王向朝
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实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN201003947Y, 申请日期: 2008-01-09, 公开日期: 2008-01-09
发明人:  何国田;  王向朝
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微位移高精度实时干涉测量仪 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN101033939A, 申请日期: 2007-09-12, 公开日期: 2007-09-12
发明人:  何国田;  王向朝
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