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实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN100547344C, 申请日期: 2009-10-07, 公开日期: 2009-10-07
发明人:  何国田;  王向朝
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微位移高精度实时干涉测量装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN201016705Y, 申请日期: 2008-02-06, 公开日期: 2008-02-06
发明人:  何国田;  王向朝
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实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN201003947Y, 申请日期: 2008-01-09, 公开日期: 2008-01-09
发明人:  何国田;  王向朝
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微位移高精度实时干涉测量仪 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN101033939A, 申请日期: 2007-09-12, 公开日期: 2007-09-12
发明人:  何国田;  王向朝
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