硅微机械自谐振传感装置

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	硅微机械自谐振传感装置; 硅微机械自谐振传感装置
其他题名	硅微机械自谐振传感装置 ; 硅微机械自谐振传感装置
	刘英明; 王向朝
	2008-04-23 ; 2008-04-23
专利权人	中国科学院上海光学精密机械研究所 ; 中国科学院上海光学精密机械研究所
公开日期	2008-04-23 ; 2008-04-23
授权国家	中国 ; 中国
专利类型	授权发明 ; 授权发明
摘要	一种硅微机械自谐振传感装置，包括光源，沿光源发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤与光源连接的准直器、偏振变换器、参考平板与谐振器。光源为半导体激光器。光源的工作电流通过直流电源控制，使得光源的光注入光强调制度最大，光源的输出光强与谐振器的形变相互影响，动态变化，使得谐振器达到自谐振状态。本发明装置的优点是不需要高精度的F-P干涉腔，不易受外界干扰，不需要特殊装置稳定谐振状态，容易实现自谐振。; 一种硅微机械自谐振传感装置，包括光源，沿光源发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤与光源连接的准直器、偏振变换器、参考平板与谐振器。光源为半导体激光器。光源的工作电流通过直流电源控制，使得光源的光注入光强调制度最大，光源的输出光强与谐振器的形变相互影响，动态变化，使得谐振器达到自谐振状态。本发明装置的优点是不需要高精度的F-P干涉腔，不易受外界干扰，不需要特殊装置稳定谐振状态，容易实现自谐振。
其他摘要	一种硅微机械自谐振传感装置，包括光源，沿光源发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤与光源连接的准直器、偏振变换器、参考平板与谐振器。光源为半导体激光器。光源的工作电流通过直流电源控制，使得光源的光注入光强调制度最大，光源的输出光强与谐振器的形变相互影响，动态变化，使得谐振器达到自谐振状态。本发明装置的优点是不需要高精度的F-P干涉腔，不易受外界干扰，不需要特殊装置稳定谐振状态，容易实现自谐振。; 一种硅微机械自谐振传感装置，包括光源，沿光源发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤与光源连接的准直器、偏振变换器、参考平板与谐振器。光源为半导体激光器。光源的工作电流通过直流电源控制，使得光源的光注入光强调制度最大，光源的输出光强与谐振器的形变相互影响，动态变化，使得谐振器达到自谐振状态。本发明装置的优点是不需要高精度的F-P干涉腔，不易受外界干扰，不需要特殊装置稳定谐振状态，容易实现自谐振。
主权项	一种硅微机械自谐振传感装置，它包括带有直流电源(7)的光源(1)，其特征在于还有：沿该光源(1)发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤(2)与光源(1)连接的准直器(3)、偏振变换器(4)、参考平板(5)和谐振器(6)，一封装在光源(1)内部的光电转换器(8)的输出端经前置放大器(9)与监视器(10)相连；所述的光源(1)是内部封装了光电转换器(8)的半导体激光器；所述的参考平板(5)是一个对着偏振变换器(4)一侧的表面上镀有增透膜，对着谐振器(6)一侧的表面上镀有增反膜的光学平行平板，其反射率R满足0.08＜R＜0.73，相应地透射率T满足0.27＜R＜0.92；所述的谐振器(6)是指一端悬空另一端固定的微悬臂梁结构，或者是两端固定的桥式结构，或者是四周都固定的膜式结构。; 一种硅微机械自谐振传感装置，它包括带有直流电源(7)的光源(1)，其特征在于还有：沿该光源(1)发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤(2)与光源(1)连接的准直器(3)、偏振变换器(4)、参考平板(5)和谐振器(6)，一封装在光源(1)内部的光电转换器(8)的输出端经前置放大器(9)与监视器(10)相连；所述的光源(1)是内部封装了光电转换器(8)的半导体激光器；所述的参考平板(5)是一个对着偏振变换器(4)一侧的表面上镀有增透膜，对着谐振器(6)一侧的表面上镀有增反膜的光学平行平板，其反射率R满足0.08＜R＜0.73，相应地透射率T满足0.27＜R＜0.92；所述的谐振器(6)是指一端悬空另一端固定的微悬臂梁结构，或者是两端固定的桥式结构，或者是四周都固定的膜式结构。
申请日期	2006-04-21 ; 2006-04-21
专利号	CN100383655C ; CN100383655C
专利状态	失效 ; 失效
申请号	CN200610025927.6 ; CN200610025927.6
公开（公告）号	CN100383655C ; CN100383655C
IPC 分类号	G02F1/35 \| G02F1/00 \| G02B6/42 ; G02F1/35 \| G02F1/00 \| G02B6/42
专利代理人	张泽纯 ; 张泽纯
代理机构	上海新天专利代理有限公司 ; 上海新天专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46989
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘英明,王向朝. 硅微机械自谐振传感装置, 硅微机械自谐振传感装置. CN100383655C, CN100383655C[P]. 2008-04-23, 2008-04-23.

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CN100383655C.PDF（202KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文