实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪

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	实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪
其他题名	实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪
	何国田; 王向朝
	2009-10-07
专利权人	中国科学院上海光学精密机械研究所
公开日期	2009-10-07
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪，包括一半导体激光器，沿该半导体激光器的出射光束前进方向同光轴地依次设置第一透镜组、分束器，在该分束器的透射光束的前进方向上设置被测物体，在分束器的反射光束的前进方向上放置有参考平板；被参考平板反射的光束前进方向上依次放置有第二透镜和探测元件，其特征在于：所述的探测元件的输出端与信号处理单元的第一输入端相连接，信号处理单元的输出端与计算机相连接，直流电源和信号源通过驱动器与半导体激光器相连接，该信号源的第二输出端与所述的信号处理单元的第二输入端相连接。本发明的优点是操作方便，测量范围大，精度高。
其他摘要	一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪，包括一半导体激光器，沿该半导体激光器的出射光束前进方向同光轴地依次设置第一透镜组、分束器，在该分束器的透射光束的前进方向上设置被测物体，在分束器的反射光束的前进方向上放置有参考平板；被参考平板反射的光束前进方向上依次放置有第二透镜和探测元件，其特征在于：所述的探测元件的输出端与信号处理单元的第一输入端相连接，信号处理单元的输出端与计算机相连接，直流电源和信号源通过驱动器与半导体激光器相连接，该信号源的第二输出端与所述的信号处理单元的第二输入端相连接。本发明的优点是操作方便，测量范围大，精度高。
申请日期	2007-02-07
专利号	CN100547344C
专利状态	失效
申请号	CN200710037262.5
公开（公告）号	CN100547344C
IPC 分类号	G01B9/02 \| G01B11/24
专利代理人	张泽纯
代理机构	上海新天专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/48678
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	何国田,王向朝. 实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪. CN100547344C[P]. 2009-10-07.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN100547344C.PDF（1053KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文