微位移高精度实时干涉测量装置

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	微位移高精度实时干涉测量装置
其他题名	微位移高精度实时干涉测量装置
	何国田; 王向朝
	2008-02-06
专利权人	中国科学院上海光学精密机械研究所
公开日期	2008-02-06
授权国家	中国
专利类型	实用新型
摘要	一种微位移高精度实时干涉测量装置，包括由半导体激光器、准直扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干涉仪，其特点是：所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电路归一化电路和单片机，该单片机具有相位连续化处理软件，该单片机的输出端与示波器的输入端相连，直流电源和信号源通过调制器与所述的半导体激光器相连接，所述的信号源还与所述的实时信号处理电路相连接。本实用新型的优点是提高了位移测量精度，扩展测量范围，使用时不需要校正，操作简便，可靠性高。
其他摘要	一种微位移高精度实时干涉测量装置，包括由半导体激光器、准直扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干涉仪，其特点是：所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电路归一化电路和单片机，该单片机具有相位连续化处理软件，该单片机的输出端与示波器的输入端相连，直流电源和信号源通过调制器与所述的半导体激光器相连接，所述的信号源还与所述的实时信号处理电路相连接。本实用新型的优点是提高了位移测量精度，扩展测量范围，使用时不需要校正，操作简便，可靠性高。
主权项	一种微位移高精度实时干涉测量装置，包括由半导体激光器(1)、准直扩束镜(2)、分束器(3)、参考平板(4)、待测量物体(5)和探测元件(6)组成的泰曼格林干涉仪，其特征在于：所述的探测元件(6)的输出端接实时信号处理电路(7)输入端、该实时信号处理电路(7)输出端接归一化电路(8)输入端，该归一化电路(8)输出端接单片机(9)输入端，该单片机(9)具有相位连续化处理软件，该单片机(9)的输出端与示波器(10)的输入端相连，直流电源(11)和信号源(12)通过调制器(13)与所述的半导体激光器(1)相连接，所述的信号源(12)还与所述的实时信号处理电路(7)相连接。
申请日期	2007-02-07
专利号	CN201016705Y
专利状态	失效
申请号	CN200720067118.1
公开（公告）号	CN201016705Y
IPC 分类号	G01B9/027
专利代理人	张泽纯
代理机构	上海新天专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/46382
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	何国田,王向朝. 微位移高精度实时干涉测量装置. CN201016705Y[P]. 2008-02-06.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN201016705Y.PDF（463KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文