| 原子层沉积TiO2:Al2O3薄膜电阻率调控机制研究 | |
| 李继超 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 赵卫 |
| 2023 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院大学 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 关键词 | 原子层沉积 微通道板 导电层 二氧化钛 氧化铝 |
| 页数 | 72 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/96573 |
| 专题 | 研究生部 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李继超. 原子层沉积TiO2:Al2O3薄膜电阻率调控机制研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2023. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 原子层沉积TiO2Al2O3薄膜电阻率调（4221KB） | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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