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Design and Fabrication of an Integrated Dual-Channel Thin-Film Filter for the Mid-Infrared 期刊论文
COATINGS, 2021, 卷号: 11, 期号: 7
作者:  Zhou, Shun;  Zhang, Liyu;  Guo, Feng;  Wu, Chunfang;  Xu, Junqi;  Zhang, Kaifeng;  Li, Kun;  Liu, Zheng;  Xiao, Xiangguo;  Song, Shigeng;  Liu, Weiguo
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optical thin film  dual-channel band pass filter  Fabray-Perot structure  lift-off process  
残余应力对介质高反膜面型影响的研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 05, 页码: 484-490
作者:  李阳;  徐均琪;  刘政;  苏俊宏
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薄膜应力  大口径  ERT  面型