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Theoretical Model of Thermal Stress in the Film-Substrate System of Optical Thin Film 期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2022, 卷号: 51, 期号: S10, 页码: 5937-5945
作者:  Shi, Yunyun;  Xu, Junqi;  Li, Yang;  Liu, Zheng;  Zhang, Kaifeng;  Su, Junhong
Adobe PDF(1273Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：104/0  |  提交时间：2022/09/28
Films  thermal stress  composite beams  residual stress  
1064 nm激光高反膜残余应力及其形变分析 期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 9
作者:  李阳;  徐均琪;  苏俊宏;  袁松松;  刘祺;  刘政
Adobe PDF(1931Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：136/0  |  提交时间：2023/02/07
多层膜  残余应力  等效参考温度  生死单元  应力补偿层  面型  
多波段大口径全介质高反膜的设计与制备 期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 335-341
作者:  师云云;  徐均琪;  刘政;  张凯锋;  苏俊宏;  袁松松;  刘祺
Adobe PDF(1763Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2022/09/01
薄膜  大口径  多波段  残余应力  激光损伤阈值  
Study on the Influence of Deposition Temperature on the Properties of Lanthanum Titanate Films 会议论文
2022 IEEE 7TH OPTOELECTRONICS GLOBAL CONFERENCE, OGC, So Univ Sci & Technol, Dept Elect & Elect Engn, Shenzhen, PEOPLES R CHINA, 2022-12-06
作者:  Li, Yang;  Xu, Junqi;  Su, Junhong;  Liu, Zheng
Adobe PDF(4572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：52/1  |  提交时间：2023/06/16
component  Lanthanum titanate films  residual stress  surface morphology  finite element analysis(FEA)  
Design and Fabrication of an Integrated Dual-Channel Thin-Film Filter for the Mid-Infrared 期刊论文
COATINGS, 2021, 卷号: 11, 期号: 7
作者:  Zhou, Shun;  Zhang, Liyu;  Guo, Feng;  Wu, Chunfang;  Xu, Junqi;  Zhang, Kaifeng;  Li, Kun;  Liu, Zheng;  Xiao, Xiangguo;  Song, Shigeng;  Liu, Weiguo
Adobe PDF(6387Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：202/0  |  提交时间：2021/08/05
optical thin film  dual-channel band pass filter  Fabray-Perot structure  lift-off process  
残余应力对介质高反膜面型影响的研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 05, 页码: 484-490
作者:  李阳;  徐均琪;  刘政;  苏俊宏
Adobe PDF(2525Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：132/0  |  提交时间：2021/10/13
薄膜应力  大口径  ERT  面型