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Theoretical Model of Thermal Stress in the Film-Substrate System of Optical Thin Film 期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2022, 卷号: 51, 期号: S10, 页码: 5937-5945
作者:  Shi, Yunyun;  Xu, Junqi;  Li, Yang;  Liu, Zheng;  Zhang, Kaifeng;  Su, Junhong
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Films  thermal stress  composite beams  residual stress  
1064 nm激光高反膜残余应力及其形变分析 期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 9
作者:  李阳;  徐均琪;  苏俊宏;  袁松松;  刘祺;  刘政
Adobe PDF(1931Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：137/0  |  提交时间：2023/02/07
多层膜  残余应力  等效参考温度  生死单元  应力补偿层  面型  
Study on the Influence of Deposition Temperature on the Properties of Lanthanum Titanate Films 会议论文
2022 IEEE 7TH OPTOELECTRONICS GLOBAL CONFERENCE, OGC, So Univ Sci & Technol, Dept Elect & Elect Engn, Shenzhen, PEOPLES R CHINA, 2022-12-06
作者:  Li, Yang;  Xu, Junqi;  Su, Junhong;  Liu, Zheng
Adobe PDF(4572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：52/1  |  提交时间：2023/06/16
component  Lanthanum titanate films  residual stress  surface morphology  finite element analysis(FEA)  
残余应力对介质高反膜面型影响的研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 05, 页码: 484-490
作者:  李阳;  徐均琪;  刘政;  苏俊宏
Adobe PDF(2525Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：138/0  |  提交时间：2021/10/13
薄膜应力  大口径  ERT  面型