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Impact of various parameters on nanostructures fabrication mechanism on silicon surface with AFM tip induced local anodic oxidation 期刊论文
FERROELECTRICS, 2019, 卷号: 549, 期号: 1(SI), 页码: 70-77
作者:  Wang, Xuewen;  Theogene, Barayavuga;  Mei, Huanhuan;  Zhang, Jianwei;  Huang, Chenchen;  Ren, Xiaoying;  Xu, Muxun
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Local anodic oxidation nanolithography  atomic force microscope  silicon surface