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一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN209232758U, 申请日期: 2019-08-09, 公开日期: 2019-08-09
发明人:  李喜荣;  宋克昌;  李波;  李青民
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一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置及清洗方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109686693A, 申请日期: 2019-04-26, 公开日期: 2019-04-26
发明人:  李喜荣;  宋克昌;  李波;  李青民
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