Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置 | |
其他题名 | 一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置 |
李喜荣; 宋克昌; 李波; 李青民 | |
2019-08-09 | |
专利权人 | 西安立芯光电科技有限公司 |
公开日期 | 2019-08-09 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 实用新型 |
摘要 | 本实用新型提出一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置,保证半导体激光器芯片在清洗环节中不受损伤的前提下,提高清洁效果。该装置包括用于吸附晶圆的载台、与载台背面密封固定的后盖以及与后盖固定的手柄,载台正面设置有若干吸附孔,后盖与载台闭合形成与所述若干吸附孔连通的腔室;手柄内具有中空管路,中空管路一端连通所述腔室,另一端通过软管接真空泵;使用时,操作者一只手持该装置的手柄,在不锈钢的带有废液回收的保护罩中,另一只手持喷枪对晶圆表面进行喷淋,既保证了湿法有机清洗工艺的有效性,又降低了使用喷枪清洗的碎片率,提高了产品的良品率及生产的效率。 |
其他摘要 | 本实用新型提出一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置,保证半导体激光器芯片在清洗环节中不受损伤的前提下,提高清洁效果。该装置包括用于吸附晶圆的载台、与载台背面密封固定的后盖以及与后盖固定的手柄,载台正面设置有若干吸附孔,后盖与载台闭合形成与所述若干吸附孔连通的腔室;手柄内具有中空管路,中空管路一端连通所述腔室,另一端通过软管接真空泵;使用时,操作者一只手持该装置的手柄,在不锈钢的带有废液回收的保护罩中,另一只手持喷枪对晶圆表面进行喷淋,既保证了湿法有机清洗工艺的有效性,又降低了使用喷枪清洗的碎片率,提高了产品的良品率及生产的效率。 |
授权日期 | 2019-08-09 |
申请日期 | 2018-12-28 |
专利号 | CN209232758U |
专利状态 | 授权 |
申请号 | CN201822237468.9 |
公开(公告)号 | CN209232758U |
IPC 分类号 | H01L21/683 | H01L21/67 | H01L21/02 |
专利代理人 | 胡乐 |
代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38835 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 西安立芯光电科技有限公司 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李喜荣,宋克昌,李波,等. 一种用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置. CN209232758U[P]. 2019-08-09. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN209232758U.PDF(348KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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