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中国科学院西安光学精密机械研究所机构知识库
Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
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一种激光光纤耦合调试的装置和方法
专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202011301890.1, 申请日期: 2020-11-19, 公开日期: 2021-03-02
发明人:
曹明强
;
侯晓华
;
雷昱
;
刘勇
;
李小燕
;
张鸽
;
韩娟
Adobe PDF(936Kb)
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提交时间:2021/11/26
用于光学望远镜系统的光学检测设备及方法
专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202010796851.7, 申请日期: 2020-08-10, 公开日期: 2020-11-27
发明人:
李小燕
;
付兴
;
岳娟
;
丑小全
;
曹明强
;
王鹏
;
康世发
;
李华
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提交时间:2021/11/24
Research on ultra-smooth collimation separation of silicon wafer by multiple lasers
会议论文
Proceedings - 2020 3rd International Conference on Electron Device and Mechanical Engineering, ICEDME 2020, Suzhou, China, 2020-05-01
作者:
Youwang, Hu
;
Ming, Li
;
Qinqin, Xie
;
Xiaoyan, Sun
Adobe PDF(328Kb)
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浏览/下载:111/1
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提交时间:2020/07/28
silicon wafer
laser
thermal cracking
prefabricated crack