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一种激光剥线装置 专利
专利号: CN202011250279.0, 申请日期: 2022-09-02,
发明人:  郭亚文;  赵卫;  王海龙;  王自
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一种气膜孔位置定位方法、装置、电子设备和存储介质 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202011244664.4, 申请日期: 2022-06-28,
发明人:  陈琦;  赵卫;  王海龙;  周兆钊;  王自
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一种晶圆剥离方法和晶圆剥离装置 专利
专利号: CN202011242999.2, 申请日期: 2022-05-24,
发明人:  王宏建;  赵卫;  何自坚;  杨涛;  王自
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一种晶圆剥离方法及晶圆剥离装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202011244662.5, 申请日期: 2022-04-05,
发明人:  王宏建;  赵卫;  杨涛;  何自坚;  王自
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晶锭剥离方法及晶锭剥离装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202011237230.1, 申请日期: 2022-03-04,
发明人:  王宏建;  赵卫;  杨涛;  何自坚;  王自
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一种自循环吹气吸附装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN201920445733.4, 申请日期: 2020-02-28, 公开日期: 2020-02-28
发明人:  王宁;  朱文宇;  王自;  杨小君
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一种自循环吹气吸附装置及激光加工方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN201910266593.9, 申请日期: 2019-04-03,
发明人:  王宁;  朱文宇;  王自;  杨小君
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