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雷射照射裝置及薄膜電晶體的製造方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: TW201820731A, 申请日期: 2018-06-01, 公开日期: 2018-06-01
发明人:  水村通伸;  野寺伸武;  松島吉明;  田中優數;  松本隆夫;  中川英俊
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露光装置 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: JP5994091B2, 申请日期: 2016-09-02, 公开日期: 2016-09-21
发明人:  梶山 康一;  水村 通伸;  金尾 正康;  石川 晋
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曝光装置和照明单元 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN105209976A, 申请日期: 2015-12-30, 公开日期: 2015-12-30
发明人:  梶山康一;  水村通伸;  畑中诚
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半导体光集成电路 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN104871379A, 申请日期: 2015-08-26, 公开日期: 2015-08-26
发明人:  水村通伸
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