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露光装置 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: JP5994091B2, 申请日期: 2016-09-02, 公开日期: 2016-09-21
发明人:  梶山 康一;  水村 通伸;  金尾 正康;  石川 晋
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曝光装置和照明单元 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN105209976A, 申请日期: 2015-12-30, 公开日期: 2015-12-30
发明人:  梶山康一;  水村通伸;  畑中诚
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半導體環形雷射裝置 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: TW201415739A, 申请日期: 2014-04-16, 公开日期: 2014-04-16
发明人:  梶山康一;  名須川利通;  石川晉;  金尾正康
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