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基于图像多阈值控制的自动曝光控制方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN202010053972.2, 申请日期: 2021-06-22,
发明人:  申仑;  乔卫东;  吕宝刚;  葛伟;  马小龙;  王南歌;  薛彬;  杨建峰
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电子束蒸发球面夹具系统膜厚均匀性的研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2021, 卷号: 58, 期号: 5
作者:  潘永刚;  刘政;  王奔;  张四宝;  吕辰瑞
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薄膜  均匀性  电子束蒸发  球面夹具  修正挡板