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电子束蒸发球面夹具系统膜厚均匀性的研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2021, 卷号: 58, 期号: 5
作者:  潘永刚;  刘政;  王奔;  张四宝;  吕辰瑞
Adobe PDF(1291Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：149/0  |  提交时间：2021/07/19
薄膜  均匀性  电子束蒸发  球面夹具  修正挡板