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蓝宝石基氮化物芯片减薄划片的方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1545145A, 申请日期: 2004-11-10, 公开日期: 2004-11-10
发明人:  徐军;  彭观良;  周圣明;  周国清;  蒋成勇;  王海丽;  李抒智;  赵广军;  张俊计;  刘军芳;  邹军;  王银珍;  吴锋;  庄漪
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蓝宝石基氮化物芯片的划片方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1529347A, 申请日期: 2004-09-15, 公开日期: 2004-09-15
发明人:  徐军;  蒋成勇;  周圣明;  杨卫桥;  周国清;  王银珍;  彭观良;  邹军;  刘士良;  张俊计;  邓佩珍
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