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1064 nm激光高反膜残余应力及其形变分析 期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 9
作者:  李阳;  徐均琪;  苏俊宏;  袁松松;  刘祺;  刘政
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多层膜  残余应力  等效参考温度  生死单元  应力补偿层  面型  
残余应力对介质高反膜面型影响的研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 05, 页码: 484-490
作者:  李阳;  徐均琪;  刘政;  苏俊宏
Adobe PDF(2525Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：150/0  |  提交时间：2021/10/13
薄膜应力  大口径  ERT  面型