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在半导体衬底上制作集成半导体元件的方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN1618115A, 申请日期: 2005-05-18, 公开日期: 2005-05-18
发明人:  P·N·斯塔夫里诺;  T·S·琼斯;  G·帕里
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