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Scribing sapphire substrates with a solid state UV laser with edge detection 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: US20050279740A1, 申请日期: 2005-12-22, 公开日期: 2005-12-22
发明人:  LIU, KUO-CHING;  FANG, PEI HSIEN;  DERE, DANIEL J.;  LIU, JENN;  HUANG, JIH-CHUANG;  LUCERO, ANTONIO;  PINKHAM, SCOTT;  OLTROGGE, STEVEN;  MIDDLEBUSHER, DUANE
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