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一种能提高电隔离能力的脊波导芯片结构及制作方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN104242056B, 申请日期: 2017-02-15, 公开日期: 2017-02-15
发明人:  唐祖荣;  周勇;  陈文胜;  段利华;  吴天伟;  田坤
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