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制造半导体器件的方法及半导体器件 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN104466677A, 申请日期: 2015-03-25, 公开日期: 2015-03-25
发明人:  阿江敬;  北村昌太郎;  奥田哲朗;  加藤豪;  渡边功
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半導体光集積装置および製造方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: JP1996139417A, 申请日期: 1996-05-31, 公开日期: 1996-05-31
发明人:  阪田 康隆;  中村 隆宏;  阿江 敬
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