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氮化物半导体基板及其制造方法以及半导体器件 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110036144A, 申请日期: 2019-07-19, 公开日期: 2019-07-19
发明人:  藤原康文;  朱婉新;  小泉淳;  布兰登·米切尔;  汤姆·格雷戈尔凯维奇
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