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用于外延剥离的多个堆栈沉积 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN102301450A, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人:  何甘;  安德瑞斯・海吉杜斯
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