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半导体芯片和用于制造半导体芯片的方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN102779917B, 申请日期: 2015-04-22, 公开日期: 2015-04-22
发明人:  卡尔·恩格尔;  卢茨·赫佩尔;  克里斯托夫·艾克勒;  马蒂亚斯·扎巴蒂尔;  安德烈亚斯·魏玛
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