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原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置和方法 专利
专利类型: 授权发明, 专利号: CN1302310C, 申请日期: 2007-02-28, 公开日期: 2007-02-28
发明人:  费义艳;  吕惠宾;  朱湘东;  陈正豪;  周岳亮;  金奎娟;  程波林;  杨国桢
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