原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置和方法

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	原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置和方法
其他题名	原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置和方法
	费义艳; 吕惠宾; 朱湘东; 陈正豪; 周岳亮; 金奎娟; 程波林; 杨国桢
	2007-02-28
专利权人	中国科学院物理研究所
公开日期	2007-02-28
授权国家	中国
专利类型	授权发明
摘要	本发明涉及原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置和方法，该装置包括：激光器输出光的前方安置起偏器，起偏器出射的偏振光经过前方的光路上安置～光偏振调制器，输出光路上安置一电光调制器件，经过调制的输出光入射外延室窗口后，入射到被探测的外延基片表面，经外延层膜表面反射后的光从外延室窗口输出，通过检偏器后输出到探测器，探测器、放大器和数据采集处理系统电联接。该装置独立于制膜系统外，不受制膜温度和气压等条件的限制。该方法能同时获得基频和倍频两路信号，可探测原胞层状外延生长的信息，具有应用面广、获取信息多、操作简便等特点，是用于监控薄膜层状外延生长和研究成膜机理的有力工具。
其他摘要	本发明涉及原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置和方法，该装置包括：激光器输出光的前方安置起偏器，起偏器出射的偏振光经过前方的光路上安置～光偏振调制器，输出光路上安置一电光调制器件，经过调制的输出光入射外延室窗口后，入射到被探测的外延基片表面，经外延层膜表面反射后的光从外延室窗口输出，通过检偏器后输出到探测器，探测器、放大器和数据采集处理系统电联接。该装置独立于制膜系统外，不受制膜温度和气压等条件的限制。该方法能同时获得基频和倍频两路信号，可探测原胞层状外延生长的信息，具有应用面广、获取信息多、操作简便等特点，是用于监控薄膜层状外延生长和研究成膜机理的有力工具。
申请日期	2003-08-21
专利号	CN1302310C
专利状态	失效
申请号	CN03153938.6
公开（公告）号	CN1302310C
IPC 分类号	G02B27/28 \| H01S5/00 \| G02B5/30 \| G02F1/03 \| G01N21/21
专利代理人	王凤华
代理机构	北京泛华伟业知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/49185
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	费义艳,吕惠宾,朱湘东,等. 原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置和方法. CN1302310C[P]. 2007-02-28.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN1302310C.PDF（589KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文