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等离子体刻蚀方法及垂直腔面发射激光器制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN110176398A, 申请日期: 2019-08-27, 公开日期: 2019-08-27
发明人:  张鹏;  许聪基;  赖铭智
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一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN105091780A, 申请日期: 2015-11-25, 公开日期: 2015-11-25
发明人:  王波;  吴东旭;  张鹏;  乔政;  王会茗
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核磁共振陀螺仪敏感探测单元及该单元的制造方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN104457729A, 申请日期: 2015-03-25, 公开日期: 2015-03-25
发明人:  张鹏;  陈海涛;  孙帅;  徐兴烨;  黄辉
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