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1064 nm激光高反膜残余应力及其形变分析 期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 9
作者:  李阳;  徐均琪;  苏俊宏;  袁松松;  刘祺;  刘政
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多层膜  残余应力  等效参考温度  生死单元  应力补偿层  面型  
Influence mechanism of laser conditioning on the microcosmic properties of HfO_2 optical thin films 期刊论文
Journal of Optoelectronics·Laser, 2018, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 187-196
作者:  Yang Lihong;  Xue Pengcheng;  Wang Tao;  Su Junhong
Adobe PDF(4264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：169/1  |  提交时间：2018/05/15
Hfo_2  Thin Film  Polishing  Laser Conditioning  Oxidizing