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1064 nm激光高反膜残余应力及其形变分析 期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 9
作者:  李阳;  徐均琪;  苏俊宏;  袁松松;  刘祺;  刘政
Adobe PDF(1931Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：137/0  |  提交时间：2023/02/07
多层膜  残余应力  等效参考温度  生死单元  应力补偿层  面型