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Femtosecond multi-beam interference lithography based on dynamic wavefront engineering 期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2013, 卷号: 21, 期号: 8, 页码: 9851-9861
作者:  Zhou, Qiang;  Yang, Wenzheng;  He, Fengtao;  Stoian, Razvan;  Hui, Rongqing;  Cheng, Guanghua
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飞秒激光多光束干涉光刻硅表面减反微结构 期刊论文
光子学报, 2013, 期号: 5, 页码: 515-520
作者:  贺锋涛;  周强;  杨文正;  龙学文;  白晶;  程光华
Adobe PDF(1410Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：397/3  |  提交时间：2014/09/17