| 飞秒激光多光束干涉光刻硅表面减反微结构 | |
贺锋涛; 周强; 杨文正 ; 龙学文; 白晶; 程光华
| |
| 作者部门 | 瞬态光学与光子技术国家重点实验室 |
| 2013 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| ISSN | 0253-2239 |
| 期号 | 5页码:515-520 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/21904 |
| 专题 | 瞬态光学研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贺锋涛,周强,杨文正,等. 飞秒激光多光束干涉光刻硅表面减反微结构[J]. 光子学报,2013(5):515-520. |
| APA | 贺锋涛,周强,杨文正,龙学文,白晶,&程光华.(2013).飞秒激光多光束干涉光刻硅表面减反微结构.光子学报(5),515-520. |
| MLA | 贺锋涛,et al."飞秒激光多光束干涉光刻硅表面减反微结构".光子学报 .5(2013):515-520. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 飞秒激光多光束干涉光刻硅表面减反微结构.（1410KB） | 限制开放 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | |||
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