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Electrostatic field assisted micro imprint lithography technology 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 663-671
作者:  Liu, Min-Zhe;  Wang, Tai-Sheng;  Li, He-Fu;  Liu, Zhen-Yu;  Chen, Zuo-Long;  Yu, Wei-Xing;  Yu, Wei-Xing (yuwx@opt.ac.cn)
Adobe PDF(944Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：174/0  |  提交时间：2017/06/14