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一种新型微透镜阵列成象式投影光刻系统的研究 期刊论文
光子学报, 2002, 卷号: 31, 期号: 6, 页码: 769-773
作者:  崔崧;  高应俊;  阮驰;  郝爱花
Adobe PDF(208Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：612/6  |  提交时间：2010/01/12
微透镜阵列  光刻胶熔融法  离子束刻蚀法  光刻