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Low-Temperature Brush-Shaped Large-Volume Plasma Generated by Direct Current Discharge at Atmospheric Pressure 期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2011, 卷号: 39, 期号: 11, 页码: 2084-2085
作者:  Sun, Aimin;  Tang, Jie;  Cao, Wenqing;  Zhao, Wei;  Duan, Yixiang
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Atmospheric Pressure  Direct Current  Glow Discharge  Low-temperature Plasma  
用于氮化镓外延生长的衬底材料及制备方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN101106161A, 申请日期: 2008-01-16, 公开日期: 2008-01-16
发明人:  王曦;  孙佳胤;  陈静;  武爱民;  欧欣
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