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Laser-guided anisotropic etching for precision machining of micro-engineered glass components 期刊论文
International Journal of Machine Tools and Manufacture, 2024, 卷号: 198
作者:  Li, Jun;  Zhong, Shuai;  Huang, Jiaxu;  Qiu, Pei;  Wang, Pu;  Li, Hui;  Qin, Chu;  Miao, Duo;  Xu, Shaolin
Adobe PDF(25683Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2024/07/22
Ultrafast laser  Laser modification  Wet etching  Glass microstructures  Large-scale fabrication