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烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN109884032A, 申请日期: 2019-06-14, 公开日期: 2019-06-14
发明人:  王琦;  吴跃进;  刘斌美;  余立祥;  倪晓宇;  杨阳;  杨叶
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一种复合激光清洗装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN208853383U, 申请日期: 2019-05-14, 公开日期: 2019-05-14
发明人:  李响;  汪伟;  龚均明;  周晚君;  金超;  姚艳;  许文军
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Method and apparatus for optical coating in wafer fabrication reactors 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: US20030185963A1, 申请日期: 2003-10-02, 公开日期: 2003-10-02
发明人:  LIXIANG, JIN;  CHEN, JIANYU MARTIN;  LIM, HWI SIONG;  VICTOR TEO, KIAN HIN;  LAM, YEE LOY
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