烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法

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	烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法
其他题名	烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法
	王琦; 吴跃进; 刘斌美; 余立祥; 倪晓宇; 杨阳; 杨叶
	2019-06-14
专利权人	中国科学院合肥物质科学研究院
公开日期	2019-06-14
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法，系统包括：脉冲激光器发出的光束照射到光束转折器的反射面上；半导体激光器发出的光束照射到二向色镜的第一受光面上；第一受光面平行于光束转折器的反射面；光束转折器将脉冲激光器发出的光束反射到二向色镜的第二受光面上；二向色镜将光束照射在移动平台上的待测样品表面；所述成像装置与微处理器连接，且正对于被光束转折器偏转的光束在待测样品表面形成的光斑设置；所述微处理器分别与所述成像装置、所述移动平台以及所述光谱仪分别电性连接。应用本发明实施例，可以提高检测结果的准确性。
其他摘要	本发明公开了烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法，系统包括：脉冲激光器发出的光束照射到光束转折器的反射面上；半导体激光器发出的光束照射到二向色镜的第一受光面上；第一受光面平行于光束转折器的反射面；光束转折器将脉冲激光器发出的光束反射到二向色镜的第二受光面上；二向色镜将光束照射在移动平台上的待测样品表面；所述成像装置与微处理器连接，且正对于被光束转折器偏转的光束在待测样品表面形成的光斑设置；所述微处理器分别与所述成像装置、所述移动平台以及所述光谱仪分别电性连接。应用本发明实施例，可以提高检测结果的准确性。
主权项	烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统，其特征在于，所述系统包括：脉冲激光器、半导体激光器、光束转折器、二向色镜、成像装置、微处理器、移动平台以及光谱仪，其中，所述脉冲激光器发出的光束照射到所述光束转折器的反射面上；所述半导体激光器发出的光束照射到所述二向色镜的第一受光面上；第一受光面平行于所述光束转折器的反射面；所述二向色镜的第二受光面与所述第一受光面平行，且所述第二受光面位于所述光束转折器的反射面反射的激光束的光路上，所述光束转折器将所述脉冲激光器发出的光束反射到所述二向色镜的第二受光面上；所述二向色镜将所述脉冲激光器发出的光束与所述半导体激光器发出的光束共线，并将所述脉冲激光器发出的光束以及所述半导体激光器发出的光束照射在所述移动平台上的待测样品表面相同位置；所述成像装置与微处理器连接，且正对于被光束转折器偏转的光束在待测样品表面形成的光斑设置；所述微处理器分别与所述成像装置、所述移动平台以及所述光谱仪分别电性连接。
申请日期	2019-02-19
专利号	CN109884032A
专利状态	申请中
申请号	CN201910120978.4
公开（公告）号	CN109884032A
IPC 分类号	G01N21/71 \| G01N21/01
专利代理人	丁瑞瑞
代理机构	合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55304
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	王琦,吴跃进,刘斌美,等. 烧蚀点精确定位的激光诱导击穿光谱检测系统及方法. CN109884032A[P]. 2019-06-14.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN109884032A.PDF（488KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文