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一种晶圆异形结构的激光加工方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202010860509.9, 申请日期: 2022-09-30,
发明人:  王宏建;  赵卫;  何自坚;  陈湘文;  朱建海
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一种晶圆剥离方法和晶圆剥离装置 专利
专利号: CN202011242999.2, 申请日期: 2022-05-24,
发明人:  王宏建;  赵卫;  何自坚;  杨涛;  王自
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一种超声协同激光的晶锭剥离方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202010634131.0, 申请日期: 2022-05-03,
发明人:  王宏建;  赵卫;  朱建海;  沈旋;  何自坚;  申漫漫
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激光剥离晶圆装置及激光剥离晶圆方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202010625189.9, 申请日期: 2022-04-05,
发明人:  王宏建;  赵卫;  朱建海;  沈旋;  何自坚;  申漫漫
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一种晶圆剥离方法及晶圆剥离装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202011244662.5, 申请日期: 2022-04-05,
发明人:  王宏建;  赵卫;  杨涛;  何自坚;  王自
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晶锭剥离方法及晶锭剥离装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202011237230.1, 申请日期: 2022-03-04,
发明人:  王宏建;  赵卫;  杨涛;  何自坚;  王自
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一种晶圆微结构的制造方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: CN202010860092.6, 申请日期: 2022-02-01,
发明人:  王宏建;  赵卫;  何自坚;  陈湘文;  朱建海
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