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中国科学院西安光学精密机械研究所机构知识库
Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
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光纤式色散共焦三维测量系统及算法比较研究
期刊论文
光子学报, 2021, 卷号: 50, 期号: 11
作者:
王佳怡
;
刘涛
;
唐晓锋
;
胡佳琪
;
王兴
;
李国卿
;
何韬
;
杨树明
Adobe PDF(4533Kb)
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提交时间:2022/01/14
色散共焦
三维测量
光谱色散
膜厚
标定
纳米制造中加工和测量统一性原理探索
影音
类型: 视频, 陕西省光学学会, 2021,
作者:
杨树明
MP4(770911Kb)
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浏览/下载:202/0
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提交时间:2021/09/13
一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法
专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN107388982A, 申请日期: 2017-11-24, 公开日期: 2017-11-24
发明人:
杨树明
;
杨新宇
;
张国锋
;
薛兴昌
;
杨林林
Adobe PDF(1068Kb)
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提交时间:2019/12/31