一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法

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	一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法
其他题名	一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法
	杨树明; 杨新宇; 张国锋; 薛兴昌; 杨林林
	2017-11-24
专利权人	西安交通大学
公开日期	2017-11-24
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法，包括光学测头和电控模块，光学测头通过光学测头底板与电控模块固定；工作时，可调谐红外激光谐振腔与稳压激光二极管发出的光由光纤连接到光纤传输模块，光纤传输模块将两路激光耦合并传送至光纤准直器，光纤准直器将光投射到闪耀光栅上，闪耀光栅的零级衍射光投射到参考臂反射镜并原路返回，一级衍射光经准直透镜投射到被测物表面并原路返回；两路光干涉并返回到光纤准直器，由光纤传输模块检测干涉信号；电控模块包括供电单元、信号采集处理以及系统闭环控制单元，实现光学侧头供电、将干涉信号传送给计算机进行数据处理及将系统信号偏差传送给压电陶瓷供电单元稳定系统工作点的功能。
其他摘要	本发明公开了一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法，包括光学测头和电控模块，光学测头通过光学测头底板与电控模块固定；工作时，可调谐红外激光谐振腔与稳压激光二极管发出的光由光纤连接到光纤传输模块，光纤传输模块将两路激光耦合并传送至光纤准直器，光纤准直器将光投射到闪耀光栅上，闪耀光栅的零级衍射光投射到参考臂反射镜并原路返回，一级衍射光经准直透镜投射到被测物表面并原路返回；两路光干涉并返回到光纤准直器，由光纤传输模块检测干涉信号；电控模块包括供电单元、信号采集处理以及系统闭环控制单元，实现光学侧头供电、将干涉信号传送给计算机进行数据处理及将系统信号偏差传送给压电陶瓷供电单元稳定系统工作点的功能。
主权项	一种便携式纳米加工在线测量装置，其特征在于，包括光学测头和电控模块(8)，光学测头通过光学测头底板(4)与电控模块(8)固定连接；其中，光学测头包括安装在光学测头底板(4)上的可调谐红外激光谐振腔(7)、稳压激光二极管(6)和光纤传输模块(5)以及通过光学元件安装基座安装在光学测头底板(4)上的空间光学元件；空间光学元件包括光纤准直器(11)、闪耀光栅(2)、参考臂反射镜(9)、压电陶瓷(10)和准直透镜(12)；每个空间光学元件的中心线均位于同一水平面；工作时，可调谐红外激光谐振腔(7)与稳压激光二极管(6)发出的光线由光纤连接到光纤传输模块(5)，光纤传输模块(5)将两路激光耦合并传送至光纤准直器(11)，光纤准直器(11)将光投射到闪耀光栅(2)上，闪耀光栅(2)出射的零级衍射光投射到参考臂反射镜(9)并原路返回，一级衍射光经准直透镜(13)投射到被测物(21)表面并原路返回；两路光在闪耀光栅(2)处干涉并返回到光纤准直器(11)，由光纤传输模块(11)检测干涉信号；电控模块(8)包括供电单元、信号采集处理以及系统闭环控制单元，系统工作时，电控模块的供电单元为光学测头的可调谐红外激光谐振腔、稳压激光二极管及压电陶瓷供电，信号采集单元将干涉信号传送给计算机进行数据处理，同时，系统闭环控制单元将系统信号偏差传送给压电陶瓷供电单元，由压电陶瓷带动参考臂反射镜运动稳定系统工作点。
申请日期	2017-06-20
专利号	CN107388982A
专利状态	授权
申请号	CN201710471144.9
公开（公告）号	CN107388982A
IPC 分类号	G01B11/24 \| G01B11/30
专利代理人	闵岳峰
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66739
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	杨树明,杨新宇,张国锋,等. 一种便携式纳米加工在线测量装置及测量方法. CN107388982A[P]. 2017-11-24.

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CN107388982A.PDF（1068KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文