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垂直腔面发射激光器及其制作方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN108847573A, 申请日期: 2018-11-20, 公开日期: 2018-11-20
发明人:  赵亮;  代露;  许海明;  肖黎明
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一种VCSEL芯片阵列结构及其制作方法 专利
专利类型: 发明申请, 专利号: CN108598866A, 申请日期: 2018-09-28, 公开日期: 2018-09-28
发明人:  唐琦;  肖黎明;  代露
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