Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
| 垂直腔面发射激光器及其制作方法 | |
| 其他题名 | 垂直腔面发射激光器及其制作方法 |
| 赵亮; 代露; 许海明; 肖黎明 | |
| 2018-11-20 | |
| 专利权人 | 湖北光安伦科技有限公司 |
| 公开日期 | 2018-11-20 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 摘要 | 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面发射激光器的制作方法，包括如下步骤：S1～S4四个步骤。还包括一种垂直腔面发射激光器。本发明通过将待刻区做成倒梯形台体可以起到限制电流的作用，将待刻区做成圆柱体可以控制工艺精度，方便后续工艺制作，将待刻区做成正梯形台体可以有利于后续制作电极时的金属接触以及有效降低电阻，而且该正梯形台体结构也可以使外延应力不容易集中某一处，对激光器的电性能有积极作用。 |
| 其他摘要 | 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面发射激光器的制作方法，包括如下步骤：S1～S4四个步骤。还包括一种垂直腔面发射激光器。本发明通过将待刻区做成倒梯形台体可以起到限制电流的作用，将待刻区做成圆柱体可以控制工艺精度，方便后续工艺制作，将待刻区做成正梯形台体可以有利于后续制作电极时的金属接触以及有效降低电阻，而且该正梯形台体结构也可以使外延应力不容易集中某一处，对激光器的电性能有积极作用。 |
| 申请日期 | 2018-06-27 |
| 专利号 | CN108847573A |
| 专利状态 | 申请中 |
| 申请号 | CN201810682176.8 |
| 公开（公告）号 | CN108847573A |
| IPC 分类号 | H01S5/183 | H01S5/187 |
| 专利代理人 | 胡建文 |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73611 |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 湖北光安伦科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵亮,代露,许海明,等. 垂直腔面发射激光器及其制作方法. CN108847573A[P]. 2018-11-20. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN108847573A.PDF（477KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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